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硅靶廣泛應用于光學、光電子、半導體、觸摸屏等領域器件鍍膜。

元素符號:Si
純度:4N+
形狀:平面靶;旋轉靶
外觀:深灰色,半金屬
典型密度:2.32g/cm3
常規(guī)尺寸:平面靶: 500x500x30mm
旋轉靶: L4000mm
其它尺寸可定制


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