氧化銦鎵鋅 (IGZO)是新型顯示技術(shù)的關(guān)鍵氧化物半導(dǎo)體材料。在TFT中,可取代Si材料作為溝道層材料。其優(yōu)異性能可使器件實(shí)現(xiàn)更高的分辨率、超低功耗和低噪聲,可用于制造新型高性能LCD和OLED顯示器。
元素符號 | : | IGZO |
成分 | : | In:Ga:Zn:O=1:1:1:4 (原子比) 其它成分可定制 |
純度 | : | 4N+ |
形狀 | : | 平面靶;旋轉(zhuǎn)靶 |
外觀 | : | 亮灰色 |
典型密度 | : | ≥6.30g/cm3 |
常規(guī)尺寸 | : | 平面靶: 單片靶材L300-1100mm 旋轉(zhuǎn)靶: 單節(jié)靶材L300-700mm 其他尺寸可定制 |