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釕及釕合金靶常通過真空濺射形成薄膜,作為半導(dǎo)體和數(shù)據(jù)存儲層膜層。

元素符號:Ru
純度:3N+
形狀:平面靶
外觀:銀灰色金屬
典型密度:12.33g/cm3(100Ru)
常規(guī)尺寸:Φ165 mm
其它尺寸可定制


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